スマートなファブを快適に運用するためのヒント
次世代のファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、従来の加熱方法を捨てることです。
クリーンルーム内での加熱には、赤外線システムを使用します。なぜでしょうか？それは、赤外線が放射熱を利用しているからです。部屋中の空気を温める必要がないので、層流状態が崩れたり、ほこりが舞ったりする心配もありません。つまり、環境を安定させ、空気を清潔に保つことができるのです。とても簡単です。
実際に必要なデータを取得する
スマートなファブが機能するためには、各機器が互いに通信できる必要があります。私たちは、PLCで制御される電源に直接接続できるように赤外線ランプを設計しています。これにより、どれだけのワット数の電力が消費されているか、またベンチ上の温度分布をリアルタイムで把握できます。推測ではなく、正確なデータが得られます。最良の点は、ランプが故障する前にその兆候が現れるので、生産効率を落とすことなく交換できることです。
速い加熱速度、しかし材料に注意
これらのランプは高い熱密度を持つように設計されています。短波長の赤外線を利用することで、小さな範囲に多くのエネルギーを集中させることができます。非常に速いのです。巨大なオーブンで時間をかけて加熱する必要はありません。数秒で目標温度に到達します。ただし、その強度は侮れません。高密度の赤外線は、ベンチに大きな負荷をかけます。サブストレートホルダーがその高温に耐えられるか確認してください。そうでなければ、部品が変形してしまいます。
なぜ赤外線を使うのか？
従来の抵抗式ヒーターは、熱があちこちに漏れ出しますが、赤外線はそうではありません。エネルギーをウェーハや部品がある場所に直接届けます。HVACシステムも、無駄な熱と戦わずに済むので助かります。
さらに、これらのランプをデジタル回路に接続すれば、ソフトウェアを通じて加熱プロファイルを即座に調整できます。手動で調整する必要もなく、「推測して確認する」手間もありません。パラメータを設定すれば、システムが自動的に管理してくれます。これは、人員を増やすことなく生産能力を拡大する最も簡単な方法です。